
| 流量规格(N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | 
| 准确度 | ±1.0% S.P . (≥35% F.S.) | 
| ±0.35% F.S. (<35% F.S.) | |
| 线性 | ±0.5% F.S. | 
| 重复精度 | ±0.2% F.S. | 
| 工作压差范围 | 0.05~0.35Mpa 流量规格≤10SLM | 
| 0.1~0.35Mpa 流量规格>10SLM | |
| 温度系数 | 零点:≤±0.05FS/℃; 调节时:≤±0.1FS/℃ | 
| 耐压 | 3MPa ≤2sec | 
| 漏率 | 1×10-10pa.m3/sec He | 
| 密封材料 | 氟橡胶; 金属密封 | 
| 工作环境温度 | (5~45) ℃ | 
电话:17513176192
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